杰力科技DN2860R在擴散爐\PECVD上的應用
設備功能介紹: 本設備主要用于晶體硅太陽能電池制造中硅片的擴散摻雜。擴散是半導體工藝生產(chǎn)中的一種關鍵工藝,通過擴散所形成的PN結(jié),就是晶體硅太陽能電池的核心。 應用產(chǎn)品型號: DN2860R、57HS7640A、BHYT57-22、57HS6640A
產(chǎn)品應用介紹: 熱擴散爐用2個DN2860R、2個57HS7640A; (PECVD用1個BHYT57-22、1個BHYT57-22、1個57HS6640A) 步進電機用于驅(qū)動圖中四個黑框里的模塊上下、前后移動,一個電機裝在模塊上,通過變速箱+絲杠帶動模塊做上下運動,一個電機通過皮帶+滾珠絲杠帶動模塊水平運動?! ≡O備中共有四個工控機,每個工控機控制兩個驅(qū)動器(一個模塊)。 目的是送料進入爐中,或從爐中取料出來。 應用環(huán)境參數(shù): 負載:同步帶負載,長度3米?! ∩衔粰C:研祥工控機, 控制模式:主機控制模式,C++語言編程,客戶自己編寫程序;RS485通訊,兩軸控制,無需插補運動;正反轉(zhuǎn)限位提供機械保護; 電源:24V開關電源; 細分:20000 step/rev; 速度:300rpm; 動作,低速往復運動,運行10分鐘,靜止1小時?! 】蛻暨x用的原因: 主機編程控制,實現(xiàn)全數(shù)字化控制,抗干擾能力強。
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