在選擇驅(qū)動電機(jī)時，應(yīng)結(jié)合電機(jī)的特點(diǎn)，考慮精密工件臺的運(yùn)動模式、負(fù)載情況和精度要求。　　(1)精密工件臺的運(yùn)動模式　?、俨竭M(jìn)運(yùn)動　　在步進(jìn)運(yùn)動模式中，輸入的命令使步進(jìn)電機(jī)以步進(jìn)的形式運(yùn)動，使工件臺從一個位置步進(jìn)到另一個位置，在這個過程中電機(jī)處在經(jīng)常的加速一減速的運(yùn)行狀態(tài)?！　∫圆竭M(jìn)重復(fù)電子束曝光的作圖方式為例，當(dāng)電子束完成一個場的曝光后，工件臺移動一個場的距離，再進(jìn)行另一個場的曝光。在這個過程中，步進(jìn)重復(fù)電子束曝光機(jī)中電機(jī)的運(yùn)動曲線通常分成四個部分，如圖3-4所示，I為加速區(qū);II為全速運(yùn)行區(qū)，在這個區(qū)中工件臺以最大速度運(yùn)動;i為減速運(yùn)行區(qū);W為振蕩穩(wěn)定區(qū)，最后直到電機(jī)停止運(yùn)行。　?、谶B續(xù)運(yùn)動　　在連續(xù)運(yùn)動的模式中，保持輸出速度恒定不變，并且根據(jù)輸入命令而改變運(yùn)動的方向。相對于步進(jìn)運(yùn)動方式來說，連續(xù)運(yùn)動不需要頻繁的啟動、停止，因而連續(xù)運(yùn)動方式的工作效率比步進(jìn)運(yùn)動方式的工作效率要高。但以連續(xù)運(yùn)動方式工作時，需要控制系統(tǒng)能夠克服運(yùn)動過程中的內(nèi)外干擾而保持恒速，這對控制系統(tǒng)的要求是較高的?！　≡谀壳皰呙韫饪谭绞街校３２捎靡粋€方向連續(xù)運(yùn)動，另外一個方向步進(jìn)運(yùn)動。如，光柵掃描式電子束曝光機(jī)采用了連續(xù)光姍掃描曝光方式，即工件臺在X方向連續(xù)高速運(yùn)行的同時，電子束在Y方向高速偏轉(zhuǎn)，這種作圖方式克服了慣性對定位精度的影響，可以提高曝光作圖的效率。在X方向的運(yùn)動曲線，工為正向的加速區(qū);H為正向全速運(yùn)行區(qū)，即工件臺運(yùn)行在正的最大速度區(qū);m為正向減速區(qū);W為反向加速運(yùn)行區(qū)，直到電機(jī)加速到負(fù)的最大速度，工件臺運(yùn)行在負(fù)的最大速度區(qū)V ; VI為反向減速區(qū)。不管精密工件臺是以步進(jìn)運(yùn)動模式還是以連續(xù)運(yùn)動模式運(yùn)行，在工作過程中其運(yùn)動都具有頻繁加減速的特點(diǎn)?！　?2)精密工件臺的負(fù)載　　在選擇驅(qū)動電機(jī)時，負(fù)載情況是必須考慮的一個因素。所有負(fù)載可以用轉(zhuǎn)動慣量、摩擦及粘性阻尼三個特征參數(shù)來表示。其中，摩擦負(fù)載直接影響系統(tǒng)的控制精度，當(dāng)要求工件臺做低速跟蹤時，由于摩擦負(fù)載的存在，系統(tǒng)將出現(xiàn)所謂的“爬行”現(xiàn)象。為了便于計(jì)算，在工程上常將摩擦負(fù)載視為常數(shù)。為了提高系統(tǒng)的精度和改善低速平穩(wěn)性，多采取以下措施減少摩擦:改善潤滑條件，盡量避免干摩擦;采用滾動摩擦代替滑動摩擦，如，采用滾動導(dǎo)軌支承和滾珠絲杠傳動等;采用動摩擦代替靜摩擦;用粘性摩擦代替干摩擦。對要求高的地方，可以采用靜壓軸承、空氣軸承和靜壓導(dǎo)軌等技術(shù)，使摩擦系數(shù)減少到1.0x 10-4-4.0x 10`40轉(zhuǎn)動慣量可以通過計(jì)算獲得。因?yàn)樨?fù)載和電機(jī)往往通過中間的機(jī)械環(huán)節(jié)禍聯(lián)到電機(jī)軸上，所以在分析負(fù)載的影響時必須將負(fù)載的所有參數(shù)折算到電機(jī)軸上。　?。?)精度要求　　精度是精密工件臺的重要指標(biāo)，精度可分為短時精度和長期精度兩類。短時精度在系統(tǒng)設(shè)計(jì)時就可確定。影響精密工件臺短時精度的因素主要包括:反饋元件精度、電機(jī)特性等。長期精度則在很大程度上受系統(tǒng)中元件抗溫度及其他環(huán)境條件的穩(wěn)定性影響。對于精密工件臺來說，一般在溫度、濕度、大氣壓力嚴(yán)格控制的環(huán)境下工作，可以保持其長期精度，而且可以通過激光干涉儀來實(shí)現(xiàn)高的反饋精度。因此，電機(jī)的特性成為選擇電機(jī)的重要因素。供應(yīng)杰力科技直線步進(jìn)電機(jī)的深圳市杰力科技有限公司與您攜手共創(chuàng)輝煌！

更多罩極電機(jī)產(chǎn)品咨詢需求請電話聯(lián)系TEL:135-6077-8566