1、控制器 通常是計算機(jī)或PID控制電路，主要任務(wù)是對比較元件輸出的偏差信號進(jìn)行變換處理，以控制執(zhí)行元件按要求動作。
2、功率放大 是將輸入的指令信號與系統(tǒng)的反饋信號進(jìn)行比較后進(jìn)行功率放大。
3、執(zhí)行元件 作用是按控制信號的要求，將輸入的各種形式的能量轉(zhuǎn)化成機(jī)械能，驅(qū)動被控對象工作。機(jī)電一體化系統(tǒng)中的執(zhí)行元件一般指各種電機(jī)或液壓、氣動伺服機(jī)構(gòu)等。
4、機(jī)械部件 是指被控制的機(jī)構(gòu)或裝置，是直接完成系統(tǒng)目的的主體。一般包括傳動系統(tǒng)、執(zhí)行裝置和負(fù)載。
5、檢測環(huán)節(jié) 是指能夠?qū)敵鲞M(jìn)行測量，并轉(zhuǎn)換成比較環(huán)節(jié)所需要的量綱的裝置。一般包括傳感器和轉(zhuǎn)換電路。
在實際的伺服控制系統(tǒng)中，上述的每個環(huán)節(jié)在硬件特征上并不獨立，可能幾個環(huán)節(jié)在一個硬件中，如測速直流電機(jī)即是執(zhí)行元件又是檢測元件。